靜電敏感區域, 提供最佳靜電消除與平衡電壓的能力 ( +/- 3 V balance voltage or +/-1V with optional external feedback system)
提供警報監測機制 (FMS connection) , 可提供與機台監測機制
潔淨等級符合 ISO class 4 (FS209E Class 10) 要求
具有針尖自動清潔功能