● 離子棒長度應用: 56.9/72.1/90.7/112.8/141.2/163.6/191.8/214.4 cm ● 完整結合感應回饋機制奈米級先進製程使用;個別離子棒參數調整功能 ● 可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用 ● 提供警報(alarm)機制,並支持遠端FMS監測功能