Modulated Pulse AeroBar 設備吹氣式靜電消除器
Product code : DYEQ02-91-5635 (M)
●離子棒長度應用 : 45/60/85/100/115/130/145/160/175/190/205/220/235cm
●完整結合感應回饋機制奈米級(ISO Class 1)先進製程使用
●可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
●提供警報(alarm)機制,並支持-遠端FMS監測功能
●M model : Metal free 非金屬材質之接地護板