Critical Environment Overhead Blower先進製程專用吊頂式離子風機
Product code : DYEQ02-91-5810i (FMS)
●長度應用 : 81.3/101.6/111.8 cm (32”/40”/44”)
●ESD敏感區域最佳效果可達 +/- 1 V balance voltage
●自動清潔靜電針尖組,和鎖定功能避免擅自調整效能及風速
● 可提供alarm監控功能
●FMS : FMS model,FMS 功能及選配close-loop 效能控制