ln-Line Ultra-clean Gas Ionizer
超潔淨管路線上靜電消除器
Product code : DYEQ02-91-4214
● 半導體製程技術22nm 以下,超潔淨環境專用
● 靜電消除能力 : 10 sec @ 15cm 距離及40 LPM氣體供應下
● 針尖材質 : 單晶矽針尖 ; 矽針尖可於ISO Class 1 環境使用
● 平衡電壓 : ±25V @ 15 cm距離及40 LPM氣體供應下
● 自我電壓平衡,無需調整